力学与实践

作者：张猛, 施展, 张华杰, 赵梦石, 郭一凡, 宦荣华,

关键词：微结构, 微机电系统, 动力学, 电容式加速度计,

微机械结构的设计是MEMS电容式加速度计研究的重要内容。本文设计了一款四拱梁悬挂的MEMS电容式加速度计结构，建立了四拱梁悬挂结构的力学模型，对拱梁的结构参数进行了优化分析并获得了最优悬挂参数，接着利用COMSOL软件对微机械结构的自振特性进行了分析，并研究了静电对微结构自振频率的影响。研究表明，设计的四拱梁加速度计具有结构稳定、敏感方向位移灵敏度好、自振频率可调等特点，可为高性能的MEMS电容式加速度计的研制提供理论参考。

来源：2022年第6期

《力学与实践》期刊编辑部

查看力学与实践杂志2022年第6期